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型号：上海众濒CSCPIA5
腔体材质 不锈钢表面处理
电源 AC 220V
工作电流 整机工作电流不大于1.2A（不含真空泵）
电源功率 0-300W 连续可调
射频频率 40KHz
频率偏移量 小于 0.2KHz
特性阻抗 50 欧姆，自动匹配
真空度 1pa-30pa
气体路数 高精密双路浮子流量计
气体流量 10-100ml/min（可调）
过程控制 全自动控制与手动（PLC人机界面）
清洗时间 1-60000 秒钟可调
功率大小 10%-100%可调
内腔尺寸 ø150mm*270mm
外形尺寸 560mm*540mm*410mm
重量 45KG
真空泵 抽速4L/S
真空室温度 小于 65 ℃
冷却方式 强制风冷
